离子研磨仪ArBlade5000

产品特点

1. 兼容平面和截面两种加工方式
通过更换样品座（截面或平面样品座），ArBlade5000可以进行专业的截面和平面加工，应用范围非常广泛


2. 截面研磨速率高达1 mm/h*1
新研发的PLUSII离子枪发射出高电流密度离子束，大幅提高*2了研磨速率

*1Si突出遮挡板边缘100 µm，1个小时最大加工深度

*2研磨速率是本公司产品(IM4000PLUS:2014生产)的2倍

3. 最大截面研磨宽度可达8mm
使用广域截面研磨样品座，加工宽度可达8mm，十分适用于电子元件等的研磨


图示为运用大范围截面研磨功能加工的电子基板图。虚线内表示加工区域。加工宽度约7mm，深为1mm。本次实验中，截面研磨只花了5个小时。使用PLUS-Ⅱl离子枪，我们在短时间内实现了大范围的截面研磨


4. 可加工样品尺寸大
平面加工最大可放入样品尺寸：Ф50mm×H25mm

截面加工最大可放入样品尺寸：20(W)×12(D)×7(H)mm


5. 丰富的拓展功能
•  可选择低温制冷功能，冷却温度可控，可避免样品的热损伤和变形

•  加工时观察用体式显微镜

•  可与SEM、AFM联用的真空转移功能