扫描电子显微镜
SU3800/SU3900
产品特点
SU3800/3900是日立综合型落地式钨灯丝扫描电镜，集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身。其中，SU3800为旗舰机型，SU3900支持大型样品测试，可同时观察直径200mm以上的区域
1. 高质量成像
全自动束流调整功能，可优化的发射束流功能*1，即使在较低的加速电压下也能获得足够的亮度，高信噪比图像，更广泛的用于高分辨观察与低压下表面观察。
SU3800具有二次电子探测器、5分割高灵敏度背散射电子探测器、可变压力二次电子探测器（UVD）*等多种探测器，既可以获得高分辨的形貌信息，也可以获得样品的成分、晶体去向、凹凸、阴影等信息，还可以获得阴极荧光等信息
3. 先进的自动化功能
3.1 提升的自动聚焦、亮度/对比度功能
采用了新的算法，提高了自动聚焦精度，等待时间减少至以往的1/3以下（※S-3700N比例）
3.2 搭载Intelligent Filament Technology（IFT）
• 自动监视灯丝的状态，自动控制使其一直处于最佳性能的状态
• 搭载显示灯丝更换时间的显示屏
• 可有效延长灯丝的使用时间
3.3 SEM MAP支持超大样品的全视野观察
相机导航系统通过图像拼接功能可以实现大视野的SEM MAP观察。观察区域为直径130mm（SU3800）/ 直径200mm（SU3900），并且可以与样品台R一起联动，移动到大型样品的最大观察区域。
4. 卓越的低真空成像能力
• SU3800的扩展可变压力真空范围为6-650Pa，高低真空之间可实现一键切换，无需重新安装压差光阑，节省时间，降低操作难度。
• 配备了高灵敏度低真空探测器UVD。除了样品表面的凹凸图像之外，还可以通过检测电子束照射样品而产生的阴极荧光，来获取CL信息。
5. 配备了多功能超大样品仓，可以搭载多种配件
• 可适配大尺寸样品，最大可达直径300mm/高度130mm（SU3900，不拆卸样品台，5轴马达台可用）
• 可升级EDS、EBIC、EBSD、CL、冷台、加热台、拉伸台、冷冻传输系统、光学显微镜、样品交换仓等一起使用
• 具有日立独特的样品更换辅助操作步骤，可以完全避免因为人为的误操作而导致样品污染或损坏
