场发射扫描电子显微镜
SU7000
产品特点
1. 优异的成像技术1.1 低电压成像性能:满足200nA大束流镜筒配置前提下,可以在非漏磁镜筒和无样品台减速条件下获取0.9nm / 1kV的高分辨率
1.2 追求样品信息最大化的检测系统:SU7000具有多探头信号检测系统,并且在不改变WD的前提下,更高效地获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速、更全面的信息收集。
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2. 采用多通道成像技术
• SU7000可通过同一条件同时获取各类探测器所表达的样品信息
• SU7000最多可同时显示和保存6通道信号,实现了获得样品信息的最大化,成像单元在信号显示上也作了全新升级
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3. 具有高效的观察和分析能力
• SU7000使用无漏磁的电磁混合透镜,可以在分析工作距离6 mm条件下,统一进行EDS分析和各个探测器的高、低电压成像
• 这一特性不仅可以提高EDS采集效率,还可以避免各个探头(包括EDS)切换时,随着工作距离的改变,调节图像(甚至电子光学对中)所带来的效率下降
• 在6mm的小工作距离下实现2.12mm的无畸变视野范围,满足低倍大视野观察的需求
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【同一条件下观察】
样品:Ni和CNT表面电镀的Au
加速电压:1kV
工作距离:6mm
4. 强大的分析和拓展能力
• 具有低真空分析模式,最高压力300 Pa,高、低真空可一键切换
• 低真空观察时,可以选用PD-BSED(背散射电子探测器)、UVD、MD等各种探测器
• 样品仓可搭载最大直径为φ 200 mm;最高80 mm的样品(无需拆卸样品台)
• 大开仓设计,标配18个附件接口
• 可用于各类附件(包括原位样品台)的拓展分析