场发射扫描电子显微镜
SU8700

产品特点

1. 超高分辨的观察能力

• SU8700配有日立高亮度肖特基场发射电子枪和先进的电磁复合透镜系统

• 分辨率可达到0.6 nm @15 kV；0.8 nm @1 kV；0.9 nm @0.3 kV

（以上指标均不使用样品台减速功能）

• 在不使用样品台减速的情况下，10V - 100V范围仍可进行高分辨观察

2. 追求样品信息最大化的检测系统

SU8700可搭配多种新型探测器和其他丰富的选配项，满足更多的观测需求，并且在不改变WD的前提下，更高效地获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速、更全面的信息收集

3. 先进的自动化功能

• EM Flow Creator^*：将不同的SEM功能定义为图形化的模块，允许客户通过简单的鼠标拖拽即可创建连续图像采集的自动化工作流程，自动获得高质量、重现性好的图像数据

• 自动电子光路对中：SU8700配置了自动电子光路调节功能，从光路对中到像散校正等一系列调整工作可以自动完成，可减少操作人员的工作时间和负担。

4. 强大的显示及交互特性

• 原生支持双显示器，提供灵活、高效的操作空间

• 6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集，带来更多信息

• 单次扫描最高支持 40,960×30,720 的超高像素^*

                                                                                        双显示器6通道显示，可以同时获取不同探头的信息，提高做样效率

5. 强大的分析和拓展能力

• 具有低真空分析模式，最高压力300 Pa，高、低真空可一键切换

• 标配有大样品交换仓，最快实现1分钟换样，可以满足6寸或8寸（选配）样品的观察

• 最大探针束流200 nA

• 具有20的接口可加载探头及附件，大大增强了电镜的多用途使用能力

* 选配