场发射扫描电子显微镜
SU8600

产品特点

1. 日立最新型的冷场发射扫描电镜

• 日立高亮度、长寿命冷阴极电子源可保证即使在超低着陆电压下，也可获得超高分辨的图像

• 新型冷场电子枪， 采用Mild flash技术，具有高信噪比，支持长时间连续测试和大束流（20nA）分析

样品：自组装Fe₃O₄纳米颗粒（左：20万倍；右：80万倍）

2. 高效全面的检测系统

• Super E×B技术具有信号混合&分离功能，可任意调制SE&BSE比例，轻松获取所需要的信息

• 多种类型探测器可供选择，以应对不同的表征需求

• 衬度信息包括：凹凸/表面形貌衬度、成分（低角/中角/高角/Low Loss）衬度、电位衬度、通道衬度、荧光衬度等

3. 先进的自动化功能

• EM Flow 将不同的SEM功能定义为图形化的模块，允许客户通过简单的鼠标拖拽即可创建连续图像采集的自动化工作流程，自动获得高质量、重现性好的图像数据

• 自动电子光路对中：SU8700配置了自动电子光路调节功能，从光路对中到像散校正等一系列调整工作可以自动完成，可减少操作人员的工作时间和负担

4. 强大的显示及交互特性

• 原生支持双显示器，提供灵活、高效的操作空间

• 6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集，带来更多信息

• 单次扫描最高支持 40,960×30,720 的超高像素^*

• 1,2,4或6通道信号可在同一个显示器上同时显示，可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机

• 可以通过使用两个显示器来扩展工作空间，可定制的用户界面以提高工作效率

^{5. 丰富的拓展能力}

^{• SU8600具有20nA大束流和更高的束流稳定性}

^{• 可拓展EDS、EBSD、EBL、CL、EBIC等附件}

^{• 多种联用功能：光电联用、SEM-AFM联用、Cryo-SEM冷冻传输、真空转移、ACAT三维重构等}