场发射扫描电子显微镜
SU9000 II
产品特点
SU9000 集合了日立集团内部多个部门和研究所的力量研发而成，它具有独 特的内透镜设计，采用高分辨冷场电子枪，因而具有超高的分辨率（0.4nm）。 同时，SU9000 集合了部分透射电镜的功能，它可以做电子衍射，也可以加装能 谱仪、电子能量损失谱仪等附件，具有很强的分析能力1. 高分辨冷场电子枪
• 冷场发射电子枪具有能量发散度低、光源尺寸小、亮度高等特点， 因而具有更高的分辨率
• 采用全新的冷场发射电子枪（同SU8600），具有 mild flash功能，可以大大提高束流的大小（20nA）和稳定性，因而可以满足大部分分析功能的要求
2. 独特的内透镜设计，具有优异的观察能力
• SU9000 的物镜采用独特的内透镜设计，样品完全浸没在物镜磁场中，工作距离相当于零，因而具有非常高的分辨率。
• 冷场发射电子枪和内透镜设计使SU9000具有优异的低电压观察能力， 可以避免样品的损伤和荷电，也有利于表面形貌的观察
• SU9000 STEM 探测器可以快速的观察高分辨的晶格像，尤其是一些衬度较差的碳材料
3. 高效的检测器
• SU9000 具有 Top 探测器、Upper 探测器、STEM 探测器等多种探测器
• 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE/BSE/STEM信号
4. 优异的能谱分析能力
SU9000 的内透镜设计使能谱到样品的距离更近，固体角更大，因而具有更 高的检测灵敏度，配合透射样品可以实现更高的空间分辨率
SU9000 除了可以安装传统扫描电镜的附件外，还可以做电子衍射和 EELS 等 透射电镜的扩展功能