当前位置：网站首页|产品中心|SU5000 热场式场发射扫描电镜


操作高效便捷

创新的“EM Wizard”界面更加直观，仅需要“点击”即可得到理想的图像。
超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。

特点：



高性能电子光学系统

  • 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊
  • 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像
  • 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析

性能优异

  • 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊
  • 开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
  • 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等

*：选配附件


规格：


项目 内容
分辨率 1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
放大倍率 10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
电子光学系统 电子枪 ZrO /W 肖特基式电子枪
加速电压 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)
着陆电压 减速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1
最大束流 > 200 nA
探测器 低位二次电子探测器
低真空模式*2 真空范围: 10 - 300 Pa
马达台 马达台控制 5 - 轴自动 (优中心)
可动范围 X：0～100mm
Y：0～50mm
Z：3～65mm
T：-20～90°
R：360°
最大样品尺寸 最大直径: 200 mm
最大高度: 80 mm
选配探测器
  • 高分辨率顶位二次电子探测器＊1
  • 高灵敏度低真空探测器 (UVD)
  • 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3
  • 能谱仪 (EDS)
  • 波谱仪 (WDS)
  • 背散射电子衍射探测器 (EBSD)

*1：减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）

*2：低真空功能（包含5分割半导体探测器）

*3：空压机(本地采购)


应用实例：


-

样品: 氧化锌粉末
着陆电压: 1 kV ; 倍率: 120,000x
低电压下顶位二次电子探测器成像

-

样品: PTFE
加速电压: 3 kV ; 倍率: 13,000x
UVD探测器可在低加速电压(3 kV)和低真空
(40 Pa) 下获得高质量图像