纳米尺度3D光学干涉测量系统（VS1800）是利用光的干涉现象进行非接触、无损伤表面形貌测量的光学仪器。这是一种非接触式，无损伤的测量手段。可以实现毫米大视野内垂直方向0.01nm分辨率表面信息的捕捉。可广泛应用于大范围划痕分析，例如，通过测试金属表面划痕分布（机器磨损），来表征润滑油的劣化情况。