当前位置：网站首页|解决方案|采用晶圆缺陷坐标进行FIB自动加工及SEM观察
NX2000具有自动识别KRF文件，从而直接调用晶圆中缺陷位点坐标，对样品中的缺陷进行快速定位加工及观察。从而大大提高半导体失效分析的分析效率。