当前位置：网站首页|解决方案|使用场发射电镜观察半导体参杂层
要观察MOS晶体管截面参杂层，如果仅通过FIB制备，无法获取清晰的衬度，结合离子束研磨再加工，则可以看到清晰的参杂层结构。