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SU8200在高加速电压下观察鳍式结构
采用高加速电压观察14纳米SRAM Fin-FET(静态随机存取存储器鳍式场效应晶体管),二次电子图像可以显示表面形貌,背散射图像可以同时观察内部结构。这是一种有效和方便的失效分析技术。