当前位置：网站首页|解决方案|使用SU8200观察SiC功率器件参杂分布
要观察SiC功率器件截面，如果仅通过FIB制备，无法获取清晰的衬度，结合离子束研磨再加工，则可以看到清晰的参杂层分布。