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对多层陶瓷电容进行EBSD分析。BSE图像可以呈现出Ni电极BaTiO3陶瓷的明显原子序数和晶体取向衬度，菊池带衬度图显示晶粒直接介于85-750 nm之间. 晶体取向图显示出 BaTiO3晶体取向的随机性。 SU8200可对＜100nm的晶粒做晶体取向分析。