当前位置:网站首页|解决方案|使用场发射电镜观察半导体器件电位衬度
场发射电镜观察SRAM(静态随机存储器)的接触窗插塞表面,在低加速电压下,由于下层结构中不同插塞的表面电势差异,造成二次电子产额不同,从而可以很好区分PMOS,NMOS和栅极。