当前位置:网站首页|解决方案|使用场发射电镜对3D NAND闪存截面进行高分辨观察
3D NAND闪存截面经过离子研磨处理,通过高分辨场发射电镜观察,存储单元中的每一叠层(SiN, 多晶硅 和 SiO层)清晰可见