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使用Regulus8200对3D NAND闪存平面作高分辨观察
经过离子束研磨系统对3D NAND闪存作平面研磨后,采用Regulus8200可以观察到有序排列的存储单元,并且可以清楚的区分同心堆栈层(SiN, Poly-Si 和 SiO 层)