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扫描电镜与原子力显微镜联用观察多层陶瓷电容器
扫描电镜和原子力显微镜联用观察多层陶瓷电容截面,通过EBIC施加电压,可观察到正极偏暗,负极偏亮,陶瓷层亮度则呈现梯度变化,结合开尔文力显微镜对同一区域成像发现,不同电极明暗不同,且电势呈梯度变化。