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最新技术的硬盘需要对读/写磁头，介质盘等项目作评估，而随着硬盘结构的日益精细，电镜的高分辨成像性能成为必须。可对硬盘读/写磁头结构，介质盘表面的小于50nm的磁粉进行清晰成像。