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SU9000分析化合物半导体的高空间分辨率的EDX分析
化合物半导体的多量子阱结构中阱层和势垒层厚度评估非常重要。SU9000观察FIB制样的InGaAs/InAlAs的多量子阱的尺寸,甚至于1nm的厚度也可以观察到并用EDX mapping分析得到。