当前位置：网站首页|解决方案|SEM和SNDM同视野观察半导体掺杂的面分部情况
我们使用SEM和非线性介电常数显微（SNDM）观察了外延掺杂的MOSFET样品截面的掺杂浓度阶梯分布。SEM可以简单的通过电位衬度简单快速的观察掺杂分布；而SNDM有更高的精确度，可以观察到最低1013/cm3~1014/cm3的掺杂浓度。